1、过滤：将包含碳化硅、硅、杂质及分散液的含硅砂浆过滤，得到初步滤除分散液含杂质的碳化硅/硅混合物;
2、残液去除：对初步滤除分散液含杂质的碳化硅/硅混合物进行加热，温度>250℃，使残留的分散液挥发，获得含杂质的碳化硅/硅混合物;
3、酸洗除杂质：将含杂质的碳化硅/硅混合物浸置于酸性溶液或包含有助剂的酸性溶液中，通过酸性溶液溶解碳化硅/硅混合物中的杂质，再过滤去除溶有杂质的酸性溶液，获得初步去除杂质的碳化硅/硅混合物;
4、硅溶解：将去除杂质的碳化硅/硅混合物置于碱性溶液中，使碱性溶液溶解该碳化硅/硅混合物中的硅，获得溶有硅的碱性溶液和碳化硅沉淀;
5、碱液去除：去除溶有硅的碱性溶液，获得纯化的碳化硅。
